џндекс.Њетрика
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Э Ю Я

Фотолитография

фотолитогра́фия, 1) литография с использованием печатной формы, созданной на поверхности литографского камня посредством фотокопирования; оттиск, полученный с такой формы.
2) Фотолитография в планарной технологии — способ образования на поверхности полупроводникового кристалла (подложки) маски с «окнами» определённой формы и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и других электронных приборов. Осуществляется фотокопированием изображения маски на слой фоторезиста (покрывающий кристалл), который после соответствующей химической обработки (вскрытия «окон») становится такой маской.
 
Рейтинг@Mail.ru